Laserový interferometr
|
|
|
Předmětem veřejné zakázky je přenosný laserový interferometr pro detekci koncového bodu při leptání vrstev pomocí plazmatu (RIE). Interferometr bude rovněž využíván pro in-situ sledování tloušťku rostoucí vrstvy při depozici vrstev pomocí plazmatu (PECVD). Součástí dodávky je CCD kamera a počítačem řízený xz posuv pro přesné nastavení místa měření. Ovládací software umožňuje nastavení koncového bodu leptací jak přímo z výstupního signálu tak i z jeho časové derivace .Přesné požadavky a specifikace budou uvedeny v zadávací dokumentaci. 1) Popis potřeb, které mají být splněním veřejné zakázky naplněny: Dodávka bude pořízena v rámci realizace projektu „CEITEC - středoevropský technologický institut“, reg. č. CZ.1.05/1.1.00/02.0068, financovaného z Operačního programu Výzkum a vývoj pro inovace (dále jen OP VaVpI). Předmětem projektu je technologické vybavení budovaných laboratoří Středoevropského technologického institutu (CEITEC) špičkovými přístroji a zařízeními.
2) Popis předmětu veřejné zakázky: viz. oddíl II.4)
3) Popis vzájemného vztahu předmětu veřejné zakázky a potřeb zadavatele: Požadovaná konfigurace laserového interferometru představuje důležité přístrojové vybavení pro přípravu vzorků (leptání, depozice) pomocí zařízení využívající vysokofrekvenční induktivně buzené plazma. Předností této sestavy je jeho mobilita a využití u různých zařízení, které jsou nedílnou součastí vybavení CF Nano. Přenosný laserový interferometr bude využíván například pro detekci koncového bodu u zařízení pro hluboké leptaní křemíku (DRIE), pro leptání kovů a III-V materiálů (RIE). Přesné určení koncového bodu leptání je důležité pro reprodukovatelnou přípravu struktur, které jsou dále využívány pro výrobu senzorů, MEMs atd.
4) Předpokládaný termín splnění veřejné zakázky: Předpokládaný termín splnění cíle veřejné zakázky je do 3 měsíců ode dne uzavření smlouvy.