Optický spektrometr
|
|
|
Předmětem zakázky je dodávka optického spektrometru pro snímaní optických emisních spekter plazmatu ve vlnové délce 200 - 880 nm a to včetně instalace a uvedení do provozu. Spektrometr bude využíván pro detekci koncového bodu při leptání vrstev pomocí plazmatu a pro měření optických emisních spekter plazmatu při depozici vrstev. Součástí dodávky bude i ovládací software, který umožňuje nastavení koncového bodu leptací přímo z měření intenzity výstupního signálu. Podorbná specifikace bude uvedena v zadávací dokumentaci. 1) Popis potřeb, které mají být splněním veřejné zakázky naplněny: Dodávka bude pořízena v rámci realizace projektu „CEITEC - středoevropský technologický institut“, reg. č. CZ.1.05/1.1.00/02.0068, financovaného z Operačního programu Výzkum a vývoj pro inovace (dále jen OP VaVpI). Předmětem projektu je technologické vybavení budovaných laboratoří Středoevropského technologického institutu (CEITEC) špičkovými přístroji a zařízeními.
2) Popis předmětu veřejné zakázky: viz. oddíl II.4)
3) Popis vzájemného vztahu předmětu veřejné zakázky a potřeb zadavatele: Požadovaná konfigurace optického spektrometru představuje důležité přístrojové vybavení pro přípravu vzorků pomocí zařízení využívající plazma. Předností této sestavy je jeho mobilita a využití u různých zařízení, které jsou nedílnou součastí vybavení CF Nano. Přenosný optický spektrometr bude například využívám pro detekci koncového bodu u zařízení pro hluboké leptaní křemiků (DRIE), pro leptaní kovů a III-V materiálů (RIE). Přesné určení koncového bodů leptaní je důležité pro reprodukovatelnou přípravu struktur, které jsou dále využívána pro výrobu senzorů, MEMs atd. Dále bude sloužit pro měření emisních spekter plazmatu u depozičním zařízení ( PECVD, magnetron) a jeho následnou analýzu.
4) Předpokládaný termín splnění veřejné zakázky: Předpokládaný termín splnění cíle veřejné zakázky je do 3 měsíců ode dne uzavření smlouvy.